隆基绿能获得单晶炉真空满意专利大大下降晶棒的电阻率衰减速率

来源:火狐直播app    发布时间:2023-12-06 00:17:45
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  金融界2023年11月28日音讯,据国家知识产权局公告,隆基绿能科技股份有限公司获得一项名为“一种单晶炉真空满意及晶体直拉成长设备”,授权公告号CN220099268U,请求日期为2023年4月。

  专利摘要显现,本请求供给了一种单晶炉真空满意及晶体直拉成长设备,其间,单晶炉真空满意包括排气管组、过滤设备及真空泵设备;所述排气管组的一端与单晶炉的炉底连通;所述排气管组的另一端与所述过滤设备的进气口连通;所述真空泵设备与所述过滤设备的出气口经过真空管道连通;所述真空泵设备包括多个真空泵,所述多个真空泵经过真空管道串联或并联。本请求将多个真空泵经过真空管道串联或并联方法组成真空泵设备,抄获在不改动真空泵功能的情况下,提高真空泵设备的抽真空功能,完成低炉压作用,大大下降晶棒的电阻率衰减速率。